等离子清洗原理

1> 主要分为两种方式，即腔式与大气压式，此两种等离子技术均为直接式等离子。

2> 腔式Glow等离子的特点是需要一个封闭的腔体，电极内置于真空腔体中，工作时首先用真空泵将腔体内空 气吸出形成类真空环境，然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。

3> 此种腔式等离子的处理效果要优于corona 等离子。后续运行成本较高，主要原因是其真空泵连续工作的功耗较大。另外设备工作时在真空环节需要的时间较多，对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说，局限性较明显。

4> 另一种大气压Glow(辉光)式等离子技术。RF射频作为激发能源，工作频率是13.56MHZ。采用氩气(Ar) 作为发生气体，氧气或者氮气作为反应气体。

大气压Glow(辉光)式等离子技术

1> 均匀度高：大气压等离子是辉光式的等离子幕，直接作用于材料表面，实验证明，同一材料不同位置的处理均匀性很高，这一特性对于工业领域进行下一环节的贴合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。

2> 效果可控：大气压等离子有三种效果模式可选。一是选用 氩气/氧气 组合，主要面向非金属材料并且要求较高的表面亲水效果时采用， 比如玻璃，PET Film等。 二是选用 氩气/氮气 组合，主要面向各种金属材料，如金线、铜线等。因氧气的氧化作用，替换为此方案中的氮气后，该问题可以得到有效控制。三是只采用氩气的情况，只采用氩气也可以实现表面改性，但是效果相对较弱。此为特殊情况，是少数工业客户需要有限而均匀的表面改性时采用的方案。

3> 安全易用：大气压式等离子，也是低温等离子，不会对材料表面造成损伤，例如对方阻值敏感的ITO Film材质亦可处理。无电弧，无需真空腔体，也无需废气排放系统，长时间使用并不会对操作人员造成身体损害。

4> 面积宽大：大气压等离子最大可以处理2m宽的材料，可以满足现有多数工业企业的需求。

5> 成本低廉：大气压等离子设备功耗低，运行成本以气体为主。以主要消耗气体氩气为例，同corona等离子气体消耗量相比不足其1/20.

常见的等离子技术：Arc等离子

Arc等离子技术通常应用于等离子切割机，主要是金属的切割。 可以搭配的工作气体种类较多，如氩、氧、氮、氢、水蒸气、空气、混合气体等。其等离子电弧的温度可以高达15000°~30000°。 等离子弧切割是利用极细、高温、高速的等离子电弧的热量来熔化进而切割金属器件， 特点是切割快速，热影响区小，切割面平滑。

Plasma清洗的两种方式

物理反应：利用正离子撞击方式如氩气，使含C-H键之污染物脱离而达成清除之目的。

• 以氩离子利用电浆与基板间的电位差，高速撞击基板。 

• 以撞击动力溅射掉污染物，或将碳氢污染物化学键裂解，形成气体挥发。 

• 可溅射清除金属氧化膜。 

• Ar ― (Ar+) 离子撞击

化学反应：利用氧原子或氢原子与污染物相结合方式，来达成Plasma处理