Plasma产生原理

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在， 如地球大气中电离层中的物质。

自然等离子体（如北极光，星云，太阳核，闪电）

人造等离子体（如电虹灯，火焰喷射器，日光灯，半导体制程 的溅渡，半导体制程的干蚀刻，半导体封装制程的电浆清洗）

物质四种形态 ： 固体 、 液体 、 气体 、 电浆

人工等离子的产生：Plasma的产生是利用直流，交流，射频或微波能源的方式，在适当的低压状态（约100mTorr至1Torr(1atm=760Torr)及密闭空间通以电源（12ev)，将通入密闭空间之气体离子化，产生气态之粒子；利用离子化之粒子及借由极板所提供之电场， 加速粒子间之撞击作用，而经由撞击产生之二次电子与通入密闭空间之气态粒子，尤其是不带电荷的气体分子及原子团再次发生撞击。在撞击之间便产生了电浆及火光, 而经由撞击之电子与粒子相结合而变成原子团。

等离子体组成：等离子体，即是包含离子电子与中性粒子或部分游离的气体。里面的组成由各种带电荷的电子，离子(Ion)及不带电的激发 态分子和原子团(Radicals) 、自由基、紫外线等。